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  • 晶圆检测设备

    产品简介

    采用高分辨(biàn)率成像的明暗场(chǎng)晶圆(yuán)表面检测,基于图像算(suàn)法、检测模型和良品异常检测三种(zhǒng)模式,检出晶圆表(biǎo)面(miàn)缺(quē)陷,并提供(gòng)数据统计分析

    2D检测精确度
    um

    1

    UPH
    pcs/h

    60

    漏检(jiǎn)率
    ppm

    ≤50

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