采用高分辨(biàn)率成像的明暗场(chǎng)晶圆(yuán)表面检测,基于图像算(suàn)法、检测模型和良品异常检测三种(zhǒng)模式,检出晶圆表(biǎo)面(miàn)缺(quē)陷,并提供(gòng)数据统计分析
2D检测精确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏检(jiǎn)率
ppm
≤50
先进算法储备
AI大模型与小模型(xíng)融合,支持基于(yú)良(liáng)品和不良品的模型训练方式,支(zhī)持基于大(dà)模型的智慧标注和样本(běn)生成,解决样(yàng)本不均(jun1)衡场景下的快速上线,支持(chí)增量学习模式,控制样本集规模(mó),提(tí)高模(mó)型迭代速度,支持并(bìng)行、并发的处理模(mó)式
数据统计和分析功能
用于检测和生产过程中的数据统计,提供多种看板模版;针对指定缺陷种(zhǒng)类或者指定时间段,提供(gòng)多种良率(lǜ)统计方式;提供多种数据保存接口,生产过程可(kě)追溯;针对工业场景特(tè)点,支持灵活自由配置显示单元(yuán)、统计指标、结(jié)果查询、导出、上传(chuán)逻辑;集成统(tǒng)一、可(kě)视(shì)化(huà)的(de)多机位硬件(jiàn)接口调(diào)试(shì)工具,使调(diào)试过程更加便捷
算法(fǎ)特(tè)色(sè)
在复杂背景影像中(zhōng)。我们依然可以将污染正确检出;可以(yǐ)将特定(dìng)特征瑕疵给予消除; 自动产生针痕(hén)屏蔽(bì)。消除针(zhēn)痕(hén)位(wèi)置,抓取针痕外的瑕疵